スパッタリング加工サービス(樹脂フィルム、大型基板、樹脂成形品、立体成形物、ロール形状品成膜可能)

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リーフレット

スパッタリング

 スパッタリングは蒸着では難しい均一性が高く緻密な膜を成膜することが可能です。スパッタリング加工は通常ではガラスやSiウェーハへ成膜することが多いです。しかしながら弊社ではワークに熱がかからない方式の採用でゲート付の樹脂成形品や立体成形品、薄い樹脂フィルムや樹脂シートへも成膜が可能です。また最大長さ3700mm、幅900mmの大型フィルムや大型シートへの成膜可能です。また回路や電極、バイオセンサやヒータなどのパターン形状をスパッタリングにより形成することができます。さらにパイプや管などのロール形状品、筒形状品、棒形状品の外周部へのスパッタリングも可能です。Ti-Alなどの特注ターゲットを準備することにより合金成膜も可能です。酸化膜はSiO2やTiO2などが可能です。窒化膜はTiNやSiNやSiONなどが可能です。
 また膜厚均一性が非常に高く、大面積でも良好な均一性を有しております。

 ITO膜(透明導電膜)はITOフィルムやITOガラスとして、スマートフォンやATMのタッチパネルや電磁波遮蔽フィルム、帯電防止フィルム、液晶テレビの透明電極として利用されています。Cu合金膜は電磁波シールド、EMC対策などでも利用されております。またスパッタリング膜としてはガスバリア性(酸素バリア性)、水蒸気バリア性、防湿性、赤外線遮蔽性などの機能性膜としても利用されています。基板上にSiO2や窒化膜などを成膜して、バリア層(バリア膜)、防湿層(防湿膜)、赤外線遮蔽層(赤外線遮蔽膜)などの役割を発現させます。

 加飾スパッタリングではスパッタリング膜により色調、質感、光沢感を変えることができます。塗装ほど多数の色は実現できませんが、塗装では実現できない色調を楽しめます。また実際の金属量産部品を製作する前に3-Dプリンターや光造形などで樹脂加工品を製作し、これにステンレススパッタなどシルバー調のスパッタを施すことによって実際の金属品のイメージ確認もできます。これらはモデリングメーカー様や試作メーカー様のモックアップ品(モック品)としてもご利用いただいております。

 1個や小ロットの試作から量産(A4サイズ程度のワークであれば月産数万枚の生産能力)まで色々なお客様のニーズにお応えできます。スパッタリング加工は通常は高価な加工手法で高級品への適用が常識ですが、弊社では本HPで紹介しておりますようにスパッタリングの適用範囲を拡大して安価にご利用いただいております。リーズナブルな価格でご提案させていただいておりますが、もしご予算に合わなかった場合にはご相談もさせていただけます。納期は約1週間程度ですが、事前にワーク発送時期をお知らせいただければ2〜3日で対応可能な場合もございます。 他のスパッタメーカー様では無理そうなもの、蒸着処理でお悩みの成形加工業者様も大歓迎致します。スパッタリング加工、薄膜加工、成膜受託加工の価格や納期でお困りの方は是非一度ご相談下さいませ。 

若狭電機産業でのスパッタリング15の特徴

若狭電機産業でのスパッタリングの特徴についてご紹介いたします。
(1) 乾式でのめっき処理
乾式メッキ方式でワークが液体につからないので、浸漬処理に不向きなものにめっきが可能です。
(2) 温度がかからないので樹脂製品にも成膜可能
ワークに熱がかからない方式を採用しているので熱に弱い樹脂製品にも成膜可能です。
(3) 種々の材料へも成膜可能
スパッタリング成膜がよく利用されているガラスやSiだけではなく、PC、PI、PET、PEN等の樹脂やセラミックにも成膜可能です。
(4) 小型サイズワークへも成膜可能
5mm程度の小さな部品にも成膜可能です。冶具を製作すれば1mm程度の小さなものでも可能です。
(5) 大型サイズワークへも成膜可能
幅900mm、長さ3700mmのフレキシブルな大型フィルムや大型シートにも成膜可能です。剛性のあるものでは最大680mm×880mmのガラスへの成膜実績もあります。
(6) 立体成形品へも成膜可能
シート状、板状のワークだけでなく、3次元の立体成形品にも成膜可能です。 
(7) 膜厚均一性が良好
大面積のワークへも面内の膜厚均一性が非常に良好です。
(例)φ12インチSiウェーハへのNiスパッタ 
   ウェーハ上部膜厚:942Å ウェーハ下部膜厚:932Å
(例)A4サイズPENへのAuスパッタ 
   210mm幅に対する上部膜厚:730Å 210mm幅に対する下部膜厚:720Å
(8) パターニングスパッタリング、マスキングスパッタリングも可能
マスキングを行っ状態で成膜することにより部分スパッタリングが可能です。シルク印刷で実現される膜厚な金属層ではなく薄膜の金属層が形成できます。また後加工のエッチング処理が難しいものはこのパターニングスパッタ、マスキングスパッタをお勧め致します。
(9) ロールスパッタリングも可能
パイプや管などのロール形状品、筒形状品、棒形状品の外周部へのスパッタリングが可能です。
(10) 合金膜の成膜が可能
Ti-Alなどの特注ターゲットを準備することにより合金成膜も可能です。
(11) 1度に大量ワークが成膜可能
1バッチでA4サイズ最大56枚相当もの成膜が可能です。
(12) 低価格スパッタ処理を実現
1バッチで大量のワークの処理が可能なのでワーク1個当りの成膜単価を非常に安くすることが可能です。
(13) 1個の試作から量産まで対応可能
1個の試作からでもお引き受け致します。量産用大型バッチ装置にて成膜するので大量の量産品製作もお引き受け可能です。A4サイズ程度のワークであれば月産数万枚の生産能力があります。
(14) 試作品質と量産品質が同一
1個の試作でも量産用大型バッチ装置にて成膜するので、試作での評価結果が、そのまま量産時でも品質は同一となりますので、安心して試作フェーズから量産フェーズまでをご依頼いただけます。
(15) 短納期
最短で基板受領当日の成膜作業、即日発送可能です。
【各種項目別インデックス】
ITOスパッタリング加工(樹脂フィルム、樹脂シート) ITOスパッタリング加工(樹脂成形品、EMC対策)
Niスパッタリング加工 Cuスパッタリング加工
Auスパッタリング加工 Alスパッタリング加工
Ti-Al合金スパッタリング加工 PETフィルムへのスパッタリング加工
PIフィルムへのスパッタリング加工 PENフィルムへのスパッタリング加工
樹脂成形品へのスパッタリング加工 樹脂成形品への部分スパッタリング加工
側面、垂直部へのスパッタリング加工 EMC対策
ガラスへのスパッタリング加工 セラミックス、ウレタンシートへのスパッタリング加工
ロール形状品へのスパッタリング加工 マスキングスパッタリング加工
ハーフミラー調のスパッタリング加工 電極形成のためのスパッタリング加工
パターニングスパッタリング加工 ITOの用途
スパッタリング利用事例 バイオセンサ
Cu合金膜の用途 スパッタリングを注文するには
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