スパッタリング加工サービス(樹脂フィルム、大型基板、樹脂成形品、立体成形物、ロール形状品成膜可能)

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リーフレット

スパッタリング

 スパッタリングは蒸着では難しい均一性が高く緻密な膜を成膜することが可能です。スパッタリング加工は通常ではガラスやSiウェーハへ成膜することが多いです。しかしながら弊社ではワークに熱がかからない方式の採用でゲート付の樹脂成形品や立体成形品、薄い樹脂フィルムや樹脂シートへも成膜が可能です。また最大長さ3700mm、幅900mmの大型フィルムや大型シートへの成膜可能です。また回路や電極、バイオセンサやヒータなどのパターン形状をスパッタリングにより形成することができます。さらにパイプや管などのロール形状品、筒形状品、棒形状品の外周部へのスパッタリングも可能です。Ti-Alなどの特注ターゲットを準備することにより合金成膜も可能です。酸化膜はSiO2やTiO2などが可能です。窒化膜はTiNやSiNやSiONなどが可能です。
 また膜厚均一性が非常に高く、大面積でも良好な均一性を有しております。

 ITO膜(透明導電膜)はITOフィルムやITOガラスとして、スマートフォンやATMのタッチパネルや電磁波遮蔽フィルム、帯電防止フィルム、液晶テレビの透明電極として利用されています。Cu合金膜は電磁波シールド、EMC対策などでも利用されております。またスパッタリング膜としてはガスバリア性(酸素バリア性)、水蒸気バリア性、防湿性、赤外線遮蔽性などの機能性膜としても利用されています。基板上にSiO2や窒化膜などを成膜して、バリア層(バリア膜)、防湿層(防湿膜)、赤外線遮蔽層(赤外線遮蔽膜)などの役割を発現させます。

 加飾スパッタリングではスパッタリング膜により色調、質感、光沢感を変えることができます。塗装ほど多数の色は実現できませんが、塗装では実現できない色調を楽しめます。また実際の金属量産部品を製作する前に3-Dプリンターや光造形などで樹脂加工品を製作し、これにステンレススパッタなどシルバー調のスパッタを施すことによって実際の金属品のイメージ確認もできます。これらはモデリングメーカー様や試作メーカー様のモックアップ品(モック品)としてもご利用いただいております。

 1個や小ロットの試作から量産(A4サイズ程度のワークであれば月産数万枚の生産能力)まで色々なお客様のニーズにお応えできます。スパッタリング加工は通常は高価な加工手法で高級品への適用が常識ですが、弊社では本HPで紹介しておりますようにスパッタリングの適用範囲を拡大して安価にご利用いただいております。リーズナブルな価格でご提案させていただいておりますが、もしご予算に合わなかった場合にはご相談もさせていただけます。納期は約1週間程度ですが、事前にワーク発送時期をお知らせいただければ2〜3日で対応可能な場合もございます。 他のスパッタメーカー様では無理そうなもの、蒸着処理でお悩みの成形加工業者様も大歓迎致します。スパッタリング加工、薄膜加工、成膜受託加工の価格や納期でお困りの方は是非一度ご相談下さいませ。 

樹脂フィルム、樹脂シートスパッタリング事例

 熱のかからない方式を採用しているのでPET,PEN、ポリイミドなどの薄い樹脂フィルムや樹脂シートへも成膜可能です。長さ3700mm、幅900mmの大型フィルム、大型シートへの成膜も可能です。剛性の高い樹脂板(例 PC t:2mm)等へも大量成膜が可能です。
カーボンスパッタリング(Cスパッタリング)
黒系スパッタリング

ゼオノア(ZF16 t:50um) 210mm×300mm
カーボンスパッタリング(Cスパッタリング)
黒系スパッタリング

ゼオノア(ZF14 t:100um) 210mm×300mm
ステンレススパッタリング(SUS304スパッタリング)
ゼオノア(ZF16 t:50um) 210mm×300mm
クロムスパッタリング(Crスパッタリング)
ゼオノア(ZF16 t:50um) 210mm×300mm
銅スパッタリング (Cuスパッタリング)
(左)ゼオノア ZF14(t:23um) 210mm×297mm
(中)ゼオノア ZF14(t:40um) 210mm×297mm
(右)ポリイミド(t:25um)210mm×297mm
タングステンスパッタリング(Wスパッタリング)
PEN素材 210mm×297mm
SiO2スパッタリング
ゼオノア ZF16(t:50um) 210mm×297mm
SiO2スパッタリング
PET素材 210mm×300mm
 
Auゴールドスパッタリング(左)
TiNゴールドスパッタリング(右)
  Auゴールドスパッタリング(上)
TiNゴールドスパッタリング(下)
窒化チタンスパッタリング(TiNスパッタリング)
ゴールド系スパッタリング

PET素材 300mm×700mm
SUS316Lスパッタリング
PEN素材 120mm×300mm
銅+酸化銅スパッタリング(Cu+CuOスパッタリング)
PET素材 210mm×300mm
酸化銅スパッタリング(CuOスパッタリング)
PET素材 210mm×300mm
酸化チタンスパッタリング(TiO2スパッタリング)
PC素材 300mm×300mm
酸化チタンスパッタリング(TiO2スパッタリング)
PET素材 100mm×300mm
SUS304スパッタリング
PET素材 210mm×297mm
SUS310スパッタリング)
PC素材 210mm×297mm
アルミスパッタリング(Alスパッタリング)
PET素材 400mm×500mm
チタン-アルミ合金スパッタリング(Ti-Alスパッタリング)
PET素材 400mm×600mm
ITOスパッタリング
PEN素材 50mm×900mm
ニッケルスパッタリング(Niスパッタリング)
PET素材 450mm×900mm
ニッケルスパッタリング(Niスパッタリング)
PI素材Niスパッタ 450mm*900mm
  
クロム-銅スパッタリング(Cr+Cuスパッタリング)
PI(ポリイミド)素材 400mm*1100mm
 
アクリル樹脂へのハーフミラースパッタリング(Alスパッタリング)
 ホログラムフィルムへのAlスパッタリング ホログラムフィルムへのNiスパッタリング
(左:未成膜 右:成膜済み)
 
レンチキュラーレンズへのNiスパッタリング BEFシートへのNiスパッタリング
 
Niスパッタ500Å Niスパッタ1000Å
PC t:0.2mm 
 普通に見ると膜厚によらずミラーに見える
Niスパッタ500Å
Niスパッタ1000Å
※透過している ※ほとんど透過しない
蛍光灯にかざすと透過の違いがわかる 
(左)Ni500Å
(中)Ni1000Å
(右)Ni4500Å
 PET t:0.5mm
どれも鏡面に見える
Niスパッタ500Å
※蛍光灯にかざすと透過しているのがわかる
Niスパッタ1000Å Niスパッタ4500Å
※蛍光灯にかざしてもほとんど透過しない ※蛍光灯にかざしても
まったく透過しない
スパッタではハーフミラー調成膜が可能
ニッケルスパッタリング事例 
(左)Niスパッタ200Å (左中)Niスパッタ500Å (右中)Niスパッタ1000Å (右)Niスパッタ10000Å PC t:0.5mm 
Niスパッタでは1000Å以下では光は透過する
(左)Niスパッタ品 (右)Alスパッタ品

※ポリカーボネート 300mm×300mm(t:2mm)
※明るさ(輝度)が違う。Alの方が白っぽく見える
ITOスパッタリング事例
(左)ITOスパッタ300Å (左中)ITOスパッタ500Å (右中)ITOスパッタ600Å (右)ITOスパッタ1200Å PC t:0.5mm 
ITO膜(透明導電膜)は膜厚により色目が変わります。
ITOフィルムやITOパネルはタッチパネル(タッチスクリーンパネル)の透明電極として利用されています。
ITOフィルムはその他は帯電防止フィルム、電磁波遮蔽フィルムなどにも利用されています。
金スパッタリング事例
(左)Auスパッタリング
60Å程度
(中)Auスパッタリング
40Å程度
(右)Auスパッタリング
20Å程度
PET t:0.5mm 
金スパッタリング(Auスパッタリング)
500Å PC A4サイズ t:0.1mm
金スパッタリング(Auスパッタリング)
750Å PEN A4サイズ t:25um
樹脂フィルム(PET t:0.5mm)へのスパッタリング事例 
ITOスパッタリング
300Å
ITOスパッタリング
400Å
ITOスパッタリング
500Å
ITOスパッタリング
600Å
ITOスパッタリング
1500Å 
ITOスパッタリング
2000Å 
Niスパッタリング
200Å
 
Niスパッタリング
500Å
  
Niスパッタリング
1000Å
 
Niスパッタリング
4500Å
 
Niスパッタリング
10000Å
Alスパッタリング
3000Å
SUSスパッタリング
500Å
Cr系黒 Ti系黒
Ti系青 (2層スパッタ)
ITOスパッタリング
500Å
モネルスパッタリング
2000Å 
Cuスパッタリング
5000Å
 
(2層スパッタ)
Crスパッタリング
300Å
Cuスパッタリング
10000Å
 
 
(2層スパッタ)
Crスパッタリング
1500Å
Cuスパッタリング
3000Å 
【各種項目別インデックス】
ITOスパッタリング加工(樹脂フィルム、樹脂シート) ITOスパッタリング加工(樹脂成形品、EMC対策)
Niスパッタリング加工 Cuスパッタリング加工
Auスパッタリング加工 Alスパッタリング加工
Ti-Al合金スパッタリング加工 PETフィルムへのスパッタリング加工
PIフィルムへのスパッタリング加工 PENフィルムへのスパッタリング加工
樹脂成形品へのスパッタリング加工 樹脂成形品への部分スパッタリング加工
側面、垂直部へのスパッタリング加工 EMC対策
ガラスへのスパッタリング加工 セラミックス、ウレタンシートへのスパッタリング加工
ロール形状品へのスパッタリング加工 マスキングスパッタリング加工
ハーフミラー調のスパッタリング加工 電極形成のためのスパッタリング加工
パターニングスパッタリング加工 ITOの用途
スパッタリング利用事例 バイオセンサ
Cu合金膜の用途 スパッタリングを注文するには
スパッタリング加工、薄膜加工 成膜受託加工の価格、単価、納期でお困りの方は是非一度ご相談下さいませ。
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